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　　無油真空泵因為體積小通常把無油真空泵叫做微型真空泵。無油真空泵具備一進一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個，并且在進口處能夠持續形成真空或負壓;排氣嘴處形成微正壓;工作介質主要為氣體，體積小巧的一種儀器。

　　無油真空泵直聯旋片真空泵，是一種旋片式單級真空泵。用來抽除密封容器中的氣體，以獲取真空的基本設備，比較大的優點是不返油，對被抽空間沒有油蒸汽污染，不噴油，沒有油蒸汽從泵口排出，不污染環境，屬于環保類產品，因此發展前景很好，被稱為二十一世紀“綠色真空泵”。

　　無油真空泵不適用于抽除對黑色金屬有腐蝕的，對泵油起化學反應的，含有顆粒塵埃的氣體，以及含氧過高，有爆炸性的有毒氣體，更不能作為傳輸泵使用。